藍(lán)寶石壓力傳感器的原理特點(diǎn)
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采用硅-藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體敏感元件,具有的計(jì)量特性規劃。
表壓壓力傳感器和變送器由雙膜片構(gòu)成:鈦合金測量膜片和鈦合金接收膜片長期間。印刷有異質(zhì)外延性應(yīng)變靈敏電橋電路的藍(lán)寶石薄片,被焊接在鈦合金測量膜片上重要手段。被測壓力傳送到接收膜片上(接收膜片與測量膜片之間用拉桿堅(jiān)固的連接在一起)互動講。在壓力的作用下,鈦合金接收膜片產(chǎn)生形變像一棵樹,該形變被硅-藍(lán)寶石敏感元件感知后過程中,其電橋輸出會(huì)發(fā)生變化,變化的幅度與被測壓力成正比能運用。
傳感器的電路能夠保證應(yīng)變電橋電路的供電達到,并將應(yīng)變電橋的失衡信號(hào)轉(zhuǎn)換為統(tǒng)一的電信號(hào)輸出(0-5,4-20mA或0-5V)不可缺少。在絕壓壓力傳感器和變送器中蓬勃發展,藍(lán)寶石薄片,與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起積極回應,起到了彈性元件的作用開放要求,將被測壓力轉(zhuǎn)換為應(yīng)變片形變,從而達(dá)到壓力測量的目的平臺建設。
藍(lán)寶石系由單晶體絕緣體元素組成服務機製,不會(huì)發(fā)生滯后、疲勞和蠕變現(xiàn)象使用;藍(lán)寶石比硅要堅(jiān)固大幅拓展,硬度更高,不怕形變更加堅強;藍(lán)寶石有著非常好的彈性和絕緣特性( 1000 OC 以內(nèi))與時俱進,因此,利用硅 -藍(lán)寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件初步建立,對溫度變化不敏感綜合運用,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性的方法;藍(lán)寶石的抗輻射特性*體系;另外,硅 -藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件帶動產業發展,無 p-n 漂移責任製,因此十分落實,從根本上簡化了制造工藝,提高了重復(fù)性規則製定,確保了高成品率製造業。
用硅 -藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,可在惡劣的工作條件下正常工作關規定,并且可靠性高發展基礎、精度好、溫度誤差極小建強保護、性價(jià)比高同期。